In der 7-nm-Fertigungstechnologie sind viele verschiedene Polierverfahren erforderlich. Daher wurden verschiedene CMP-Mischungen entwickelt, um eine hohe Selektivität zu erreichen. Die extrem feinen Strukturen müssen vor Kratzern und Beschädigungen durch aggregierte, größere Partikel geschützt werden.
Tauchrohre mit Boden-Teller ermöglichen ein Ansaugen oberhalb der abgesetzten, zu großen Partikel-Aggregate in Slurries.
Verfügbar in Produktlinien | QC2 G-Serie |